付帯設備

廃液の中の高価フッ素系溶剤の高純度回収を実現。
ランニングコストを低減するとともにフッ素イオン除去も出来ます。
クリーンルームに対応しており、装置に付帯することで溶解成分を低いレベルで保ち、高レベル洗浄を実現します。

弊社独自の冷却システムの別置きタイプ。 フッ素溶剤等、使用溶剤のさらなる削減を可能にします。

フッ素溶剤を繰り返し使用していくと溶剤に水分が溶解します。
高レベル洗浄を目指す場合の水分を安定させる装置です。

タンク　蓄積異物　０．５～２０μの除去装置
切粉、半田ボール 等、タンク内清掃が液を抜かずにできます。