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フッ素系洗浄システム パーティクル除去システム

フッ素系洗浄システム 純水、準水系、水切り洗浄システム

パーティクル除去、イオン除去など超精密洗浄に対応した洗浄装置です。

フッ素系洗浄システム コ・ソルベントシステム

付帯設備

廃液回収装置、ガス回収装置、水分除去装置、超精密循環装置をご紹介します。